2025年07月29日 09:01
AndTechは、R&D開発支援向けZoom講座の一環として、昨今高まりを見せるEUVレジスト、EUVメタルレジストでの課題解決ニーズに応えるべく、第一人者の講師からなる「EUVレジストEUVメタルレジスト」講座を開講。本講座は、9月17日開講を予定する。
AndTechは、化学、素材、エレクトロニクス、自動車、エネルギー、医療機器、食品包装、建材など、幅広い分野のR&Dを担うクライアントのために情報を提供する研究開発支援サービスを提供している。
メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在最先端の3nmノードの量産工程でEUVが用いられており、今年度の2nmノード以降その役割は益々増大する。
本講演では、最新のロードマップとEUVリソグラフィの概要を紹介した後、EUVレジストの基礎と要求特性、課題と対策、最新技術動向を解説する。注目されているEUVメタルレジスト、EUVメタルドライレジストプロセスについても詳しく述べる。最後に今後のEUVレジストの技術展望、市場動向についてまとめる。
参加費は4万9500円（税込）。開催日時は9月17日10時半～16時半。テーマは、EUVレジスト、EUVメタルレジストの基礎と要求特性、課題と対策、最新技術動向。※電子にて資料配布予定。WEB配信形式：Zoom。
