日立ハイテクは、大型で重量のある試料をナノレベルまで高精度かつ効率的な観察を可能にした高分解能ショットキー走査電子顕微鏡「SU3900SE」「SU3800SE」シリーズを発売する。

本シリーズにおいては、試料ステージの設計見直しにより、観察可能な試料の重量について従来機種比 10倍となる最大5 kgを実現した。また、日立ハイテクのSEMのラインアップにおける最大クラスの試料ステージを搭載。それにより、従来機種比1.5倍となる直径300 mm、高さ130 mmの大型試料の観察にも対応可能になり、試料の切断などの加工にかかる工程を削減し、効率的な観察業務にも貢献する。

さらに、大型かつ重量のある試料の観察を可能にしながら、従来機種に引き続きステージの5軸(左右、前後、上下、傾斜、回転)可動も両立し、高精度な立体観察を実現。また、分割撮影した画像をつなぎ合わせて試料全体を把握するカメラナビゲーション機能を搭載することで、大型試料の観察における視野探しをサポートし、操作性向上に寄与する。

本シリーズは環境配慮設計により、高分解能を維持しながら消費電力を従来機種よりも約50％の2 kVAに抑えることで、CO2の排出量を削減。持続可能な社会の実現とともに、社会やユーザーの課題解決に貢献していく。詳しくはこちら。