2024年08月15日 12:58

エイシングは、レーザー光源の個体差に対応した寿命予測アプリ「レーザー光源寿命予測AIアプリケーションver1.0.0」を開発し、リリースする。

エイシングは、長年にわたる機械制御とAIに関する研究成果を基に2016年12月に設立。エッジAIを開発・提供する。同社は、製造業の顧客のペインをAIで解決する方法を日々模索する中で、半導体製造装置内の位置決め用レーザーの光源寿命を予測したいという課題を受け、本アプリケーションの開発に取り組んだ。また本アプリケーションは、半導体製造装置に限らず、各種装置に搭載されている位置決め用レーザーにも展開可能だ。まずは本アプリケーションを評価してもらうために、アルファ版としてリリースする(本技術は現在特許出願中)。

本アプリケーションは、「寿命が一目で分かる」「1種類の時系列データで予測可能」「装置内のPC(IPC)にインストールして即利用可能」の3点を特徴としている。従来の線形回帰による推定方法では、予測精度が低く予期せぬブレイクダウンが発生する可能性があった。本アプリケーションでは、同社の独自アルゴリズムを用い、光源の個体差に応じた寿命予測をおこなうことで、より理想的なCBM(condition based maintenance)を実現可能だ。

エイシング